マイクロ引き下げ(μ-PD)法

 マイクロ引き下げ(μ-PD)法は坩堝下端に穴を空け固液界面を形成し、下方向に成長させる融液成長法です [1-5]。 1990年代に東北大学金属材料研究所で多くの酸化物、半導体の作製が試みられ、マイクロ引き下げ(μ-PD)法という名前が多く使われる様になりました[3-5]。 μ-PD装置の外観を図1に[6]、ホットゾーン近傍を図2に示します。

1 μ-PD装置Micropuller O-01
(株式会社C&Aの外観図)
図2 高周波型μ-PD法における
ホットゾーン近傍の概念図

μ-PD法の特徴として、以下が挙げられます。

  1. 結晶作製速度が速い
  2. 実効偏析係数keffが1に近い(図3)
  3. 形状制御結晶成長が可能

 μ-PD法は特徴1と2によって、新規単結晶材料の探索において強力なツールとなっています(図4)。 作製可能な物質群は、当初は酸化物[3-5]が中心でしたが、精密雰囲気制御が必要なフッ化物[4-7]の単結晶作製が可能となり、 その後、更に本格的な吸湿性対策が必要な他のハロゲン化物[8]の作製技術も確立されました。近年は合金[9]や有機物[10]の作製も可能となっています

 製可能な物質の融点を決める大きな一因は坩堝です。1700℃以下では白金、白金-ロジウム合金が、2200℃以下ではイリジウム、イリジウム-レニウム合金が使われます。 また、ハロゲン化物用としてはグラファイトを用いることもできます。

図3 結晶成長法における
実効偏析係数keffの比較
図4 μ-PD法を用いた新規単結晶材料の探索の概念図
  1. V. A. Tatarchenko, J. Cryst. Growth 37 (1977) 272
  2. S. Miyazawa, J. Cryst. Growth 60 (1982) 331-337
  3. D.H. Yoon, I. Yonenaga, T. Fukuda, N. Ohnishi, J. Cryst. Growth 142, 339 (1994).
  4. A. Yoshikawa, M. Nikl, G. Boulon, T. Fukuda, Opt. Mater. 30, 6 (2007).
  5. T. Fukuda, V.I. Chani, Eds., Shaped Crystals: Growth by Micro-Pulling-Down Technique (Springer-Verlag, New York, 2007).
  6. http://c-and-a.jp/
  7. A. Yoshikawa, K. Kamada, T. Fukuda, et al., J. Cryst. Growth 270, 427 (2004).
  8. Y. Yokota, A. Yoshikawa, et al., Radiation Measurements 45 (2010) 472-474
  9. A. Yoshikawa, Y. Sutou, “Metal Alloy Fibers”, Shaped Crystals Growth by Micro-Pulling-Down Technique, Springer-Verlag Berlin (2007) 331
  10. K. Kamada, A. Yoshikawa, et al., J. Cryst. Growth 452 (2016)162.

他の結晶育成技術

Czochralski法

Bridgman-Strockbarger法

フローティングゾーン法

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